腾旋科技（股票代码：430602）成立于1999年，是专业从事动态密封及液压传动产品研发、生产和销售的高新技术企业，也是国内具备进口替代能力的动态密封核心产品制造商。公司为工业和信息化部认定的国家专精特新重点“小巨人”企业。公司已形成动态密封、传动装置及航空液压件三大核心业务板块，在工程机械、盾构机、钢铁、造纸等传统领域持续巩固优势的同时，积极向半导体、航空航天、新能源及工业母机等战略性新兴产业拓展。2025年，公司总投资3.2亿元的无锡新总部研发与生产基地正式开工建设，将打造集研发与产业化于一体的高端平台，进一步提升企业技术创新能力与全球化运营水平
产品体系：多系列产品覆盖关键应用场景
围绕高端装备与半导体设备关键需求，公司已形成多系列旋转接头及密封产品体系，广泛应用于晶圆制造及高端装备关键工艺环节：
CMP晶圆抛光专用旋转头
特点:
1) 低泄漏量，确保设备长时间吸附工件；
2) 尺寸小，有利于降低客户设备高度；
3) 低启动扭矩，设备启动平稳；
4) 发热量低，可长期在封闭空间安装；
5) 模块化设计，降低客户采购成本；
6) 寿命长，采用机械密封;
型号：MSA08R03
晶圆减薄设备专用旋转接头
特点:
1) 抗粉尘能力强。独特的结构设计，适用于输送含粉尘及颗粒物的液体，对流体洁净度无高要求；
2) 低启动扭矩，设备启动平稳；
3) 模块化设计，降低客户采购成本；
4) 尺寸小，有利于降低客户设备高度；
5) 发热量低，可长期在封闭空间安装；
MSC3005R05
MSC3005R05为一款中空无主轴旋转接头，中心孔需要安装到客户机主轴，客户机主轴需要开设过流体孔。该型旋转接头能够和客户机主轴集成，使得客户设备更集成。大通道数量为5。
该型旋转接头采用机械密封设计。中心孔直径为φ29。
高速旋转接头
特点:
1) 转速高达3000rpm，
2) 扭矩较小；
3) 寿命长，采用特殊结构设计，配有自动风冷散热，近乎无摩擦旋转；
4) 结构紧凑，适合狭小空间安装；
5) 轴向跳动小，特别适用于划片机。
型号：MSG02R05
冷却专用旋转接头
特点:
1) 流阻小，通径大；
2) 零泄漏，不用担心污染车间环境；
3) 低启动扭矩，设备启动平稳；
4) 空心主轴，尾部可串联电滑环，中心孔用于穿电缆；
5) 尺寸小，有利于降低使用设备高度。
MSD02R08A
耐强酸强碱旋转接头
特点:
1) 可通入强酸和强碱溶液，流道材质、机封材料及O型圈采用耐腐蚀材质；
2) 具有一定耐颗粒污染物性能；
3) 外形尺寸小；
4) 转速可达600rpm，需要外接冷却循环水；
型号：MSE04R06
ECD设备用旋转接头
特点:
1) 电滑环与液滑环集成一体，体积小；
2) IP54防护等级；
3) 转速高达1000rpm；
4) 扭矩小。
型号：MSH02R03
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