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MaskAlign三轴光掩膜校准平台
MaskAlign1三轴光掩膜校准平台26-8英寸掩膜标准接口3集成真空吸槽以定位掩膜4轮廓低,易于集成进光学器件队列5直接驱动无刷伺服电
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2023-11-18 |
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SolarScribe光电平板雕刻系统
SolarScribe1现今可用的最全面的光电平板雕刻系统2机械和气浮轴承的分离轴和龙门式系统适合所有PV/FPD雕刻应用3直接驱动直线电机
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2023-11-18 |
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FiberMax 系统
FiberMax 系统1高达六轴的精确运动2所有轴非接触直接驱动3X-Z轴2.5nm分辨率,Y轴2nm分辨率4T-P-R直接驱动转轴5所有转轴分辨率在0.
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2023-11-18 |
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ART300旋转平台
ART300旋转平台1.持续360度旋转定位2.精密蜗轮驱动可以实现突出的精度和重复定位精度3.高转速和高负载能力4.包含无刷伺服电机5.
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2023-11-18 |
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