系统检测原理
当特定波长的光通过不同的的材料(不同的厚度、密度、成分)时,经过表面及内部多次反射之后形成的光谱条纹是完全不一样的,系统通过分析所接收到的反射光的光谱干涉条纹特性,与系统库中的光谱曲线进行匹配和对比,同时进行特征曲线的仿真和拟合,进而对每种不同成分厚度的涂层进行在线测量。
(1)入射光在膜的上下表面发生多次反射。
(2)反射光的强度和薄膜折射率,基底(substrate)折射率及膜厚,波长有关。
(3)在已知折射率的情况下,根据测量出的反射光强和波长的函数,计算出膜厚。
系统功能:
1、测量镀膜或涂布厚度,厚度范围在10纳米-100微米,准确度达到2纳米或厚度0.4%,精度达到0.1纳米,测量稳定性0.3纳米。
2、精确测量样品的颜色和在380-780纳米可见光范围内的反射率曲线。
3、测量软件支持20层以内的物理模型,并对多个参数进行同时测量。
4、具有折射率模型编辑拟合功能,对于100纳米-几个微米的膜,可以在折射率未知的情况下,结合软件对膜厚,折射率参数进行同时测量。
5、软件具有对样品的粗糙度,背面反射,多角度入射进行建模的功能
6、软件还可针对已知样品的模型,使用不同入射角和偏振进行仿真以计算不同情况下反射率曲线。
7、软件还拥有近千种材料的材料数据库,同时还支持函数型(Cauchy,Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光学(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。
8、客户还可以通过软件自带数据库对材料,菜单进行管理并回溯检查测量结果
9、我们还提供针对客户在线系统的定制检测系统。
无锡赛默斐视科技有限公司是为制造自动化领域提供视觉软件系统、视觉传感器和表面瑕疵检测系统的国内技术领先的解决方案设备供应商。公司核心技术团队由海外归国人员组成,并积极与国外著名校企建立技术合作,依托与国外先进技术的国际化接轨,掌握核心的CCD工业相机技术、光学成像技术及的软件系统。现赛默斐视表面瑕疵检测系统已在带钢、薄膜、造纸、印刷、金属带材等行业成功应用.
无锡赛默斐视科技有限公司设计理念是:系统的核心竞争是对光学成像技术和图像处理算法的运用,通过高速线扫CCD工业相机实时采集产品图像,利用高度集成的图像处理板卡来简化检测架构,使系统易于扩展,增强系统的稳定性。如有需要,欢迎致电咨询了解!
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