1适用于三到六轴光学校准
2直线轴非接触直线电机驱动,旋转轴直驱
3运动分辨率2.5nm,角度分辨率0.027-0.058
4交钥匙工程的驱动和控制系统
5光栅螺旋功率波动运算法则,工业标准电源线接口
6可选集成视觉系统

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