品牌:领科元素
规格:φ25.4*3mm
规格:φ50*4mm
规格:φ60*5mm
起订:1片
供应:500片
发货:15天内
1、高纯碲靶材加工工艺流程
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原料 |
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原料检测 |
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成型 |
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热处理 |
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机加工成型 |
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选用进口或 国产高纯碲 |
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ICP XRD，GDMS |
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热等静压烧结，真空感应熔炼 电子束熔炼，悬浮熔炼等 |
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晶粒细化 |
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切割，磨床 车床，加工中心 |
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成品检测 |
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绑定 |
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探伤扫描 |
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合格 |
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包装出库 |
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交付客户 |
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检测成品外观 尺寸公差 |
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金属化 绑定 |
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靶材专用 包装 |
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2、应用领域机设备
2-1 适用设备：适用于北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、金盛微纳、泰科诺、Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等各种单靶溅射系统，多靶溅射系统，离子溅射系统等磁控溅射设备。
2-2 应用领域：生产及科研方面应用，光学，微纳加工，器件等行业，广泛用于半导体芯片、太阳能光伏 、平面显示、特种涂层等镀膜产品。
3、靶材规格
3-1 材质：碲（Te Target））。
3-2 纯度：99.99%，99.999%，99.9999%。
3-3 晶粒度：45微米。
3-4 尺寸：Φ25,30,40,50.5,60,76.2,80,100,101.6mm，T:0.2-10mm等。
3-5 密度：6.25g/cm³。
3-6 表面粗糙度：Ra≤0.8um（溅射面），Ra≤6.4um（做金属化）。
3-7 外观：目视检查无破损、划伤、污迹、裂纹等在使用上有害的缺陷。
4、金属化（BSM）
4-1 种类：金属化材料为纯铟或银（镀膜）。
4-2 粘接度：表面均匀，无气孔，粘接牢固。
4-3 检测：用3M胶带测试。
5、包装及运输
5-1 无油、指纹等的污迹。
5-2 包装材料要保证包装内的货品不污染、破损。
5-3 包装材料采用靶材专用真空包装袋，靶材包装盒。
5-4 运输时，靶材放于专用木箱或纸箱里，包装内侧用珍珠棉严格保护起来。
5-5 运输要注意避免破损或污染。
6、标识
6-1 靶材的品名、纯度、规格、批号、制造日期贴在包装袋外侧。
7、出货报告
靶材报告上分别记载有检查结果表
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检查项目 |
检查方法 |
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7-1外观（制造商名称、编号、名称） |
目视 |
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7-2尺寸 |
游标卡尺，千分尺 |
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7-3靶材光洁度 |
光洁度对照块 |
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7-4金属杂质（Fe，Ni，Ti，Cr，Mg，AI，Cd等） |
ICP，GDMS |
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7-5气体杂质（O/N/C/S) |
气体分析设备LECO(热燃烧技术） |
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7-6组成 |
ICP |
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7-7弯曲度 |
直线视、间隙测量仪 |
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7-8净重 |
电子称 |
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7-9毛重 |
电子称 |
8、储存
8-1需储存于手套箱，氮气柜，干燥环境，密封包装，轻拿轻放，防压防撞。