INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5 X 10 -10 至 1500 mbar（3.75 X 10 -10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。 BCG450 的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流

Prani 和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。

优势

• BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性
• 压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制，可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制
• Pirani 联锁保护丝极，防止过早烧毁
• 高真空和大气气压下的 Pirani 自动调节，减少操作员的干预
• 大气气压下压差测量消除了大气压力变化引起的不确定性
• 传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证再现性
• 备有可选的图形显示器和现场总线接口

应用

• 对半导体过程和预抽真空室的压力测量
• 工业镀膜
• 在低至超高

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