品牌:苏州芯矽
发货:60天内
发送询价
ure系列石英舟（管）清洗机，广泛应用于集成电路、封装、光伏等领域。采用浸泡式处理工艺，主要用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外，也可以用于清洗其它石英材质的零部件，如石英板、点火炮、保温桶等。工艺结果具备高度的一致性，确保清洗效果。
运行稳定，uptime≥99%，降低维护成本。
分级安全互锁设置，确保设备安全可靠。
良好的密闭性有效保证了工作环境及操作人员的安全性。
布局专业，占地空间小。
工艺过程完全自动化控制。
Recipe编辑灵活、便捷，支持并行工艺。
适用于多种尺寸零部件清洗。
一机多用，可兼容石英舟/管清洗。
自主研发控制系统，友好的人机交互界面。
非标设备可根据客户需求实现定制。
石英管、石英舟及相关parts的清洗必须根据特定工艺的要求进行定制。凭借多年在该领域的经验与专业知识积累，TC系列石英舟/管清洁机为客户提供了可靠、便捷、灵活的服务。石英管、石英舟及相关parts的材质本身比较脆弱，对它们的清洗是一个非常缜密的过程。此外，为了降低成本，使用尽量少的药液达到同样的清洗效果也是设备的重要考量标准之一。TC系列石英舟/管清洁机在清洗过程中采用了滚子滚动、鼓氮、机械臂上下震动、机械臂倾斜等多种技术，在有效的减少了化学品使用量的基础上增强了清洗效果。