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高级半自动晶圆减薄贴膜机STK-6050 衡鹏供应

放大字体  缩小字体 发布日期:2021-04-30 15:18  浏览次数:0
高级半自动晶圆减薄贴膜机STK-6050 衡鹏供应
高级半自动晶圆减薄贴膜机是专利设计的柔性滚轮贴膜+弹簧刀系统/适用于8”-12”晶圆。
 
 
 
高级半自动晶圆减薄贴膜机STK-6050特点: 
8”- 12”晶圆适用;
专利设计的滚轮贴膜;
自动胶膜进给及贴膜;
手动晶圆上下料;
自动切割胶膜,省力;
蓝膜、UV 胶膜可选;
PLC+触摸屏;
配置光帘保护功能,和紧急停机按钮;
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控;
 
 
 
高级半自动晶圆减薄贴膜机STK-6050规格:
晶圆直径:8”- 12”晶圆;
晶圆厚度:100~750 微米;
晶圆种类:硅, 砷化镓或其它材料;
               单平边,双平边,V 型缺口;
膜种类:蓝膜或者 UV 膜;
贴膜方法:滚轮贴膜;
晶圆台盘:接触式晶圆台盘;
晶圆台盘加热:最高可达 120℃ (对应接触式台盘,可 选); 
晶圆放置精度:X-Y: +/- 0.5 毫米; Θ : +/- 0.5°;
装卸方式:手动晶圆放置与取出;晶圆在位置检测;
防静电控制:去离子风扇;
切割系统:自动刀;
控制单元:基于 PLC 控制,10.4”触摸屏;
电源电压:单相交流电 220V,10A; 
压缩空气:60 PSI 清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2.5 立方英尺;
灯塔:三色灯塔和蜂鸣器,用于操作状态监测;
安全:配置安全光帘和紧急停机开关;
体积:950 毫米(宽)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) ; 
净重:300 公斤;
 
 
 
高级半自动晶圆减薄贴膜机性能:
晶圆收益:≥99.9%; 
贴膜品质:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);
Cycle Time: ≤ 45 秒(不包含上料/下料时 间);
MTBF:>168 小时;
MTTR:<1 小时;
停机时间: <3%; 
更换产品时间:≤ 10 分钟。
 
 
 
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网址:http://www.shangtaiw.com/news/show-90761.html
 
 
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