东莞市天测光学设备有限公司苏州分公司

OLS4500为您带来最新的解决方案

实现纳米级观测的新型显微镜。不会丢失锁定的目标。

电动物镜转换器切换倍率和观察方法

配有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜，并在电动物镜转换器上装配了SPM单元。可以无缝切换倍率和观察方法，不会丢失观察对象。此外，该款显微镜可以进行纳米级观测。

涵盖了低倍到高倍观察，并配有多种观察方法可以迅速发现观察对象。

可以完成低倍到高倍的大范围倍率观察。不仅如此，先进光学技术打造的光学显微镜带来多种观察方法，可以容易的发现观察对象。此外，对于光学显微镜难以找到的观察对象，还可以使用激光显微镜进行观察。在激光微分干涉（DIC） 
观察中，可以进行纳米级微小凹凸的实时观察。

明视场观察（IC元件）

微分干涉（DIC）观

激光微分干涉（DIC）观察

缩短从放置样品到获取影像的工作时间。

放置好样品后，所有的操作都在1台装置上完成。可以迅速，正确的把观察对象移到SPM显微镜下面，所以只要扫描1次就能获取所需的SPM影像。

一体机的机型，所以无需重新放置样品只要在1台装置上切换倍率、观察方法就能够灵活应对新样品。

OLS4500是把光学显微镜、激光显微镜、探针显微镜融于一体的一体机，所以无需重新放置样品，即可自由切换3种显微镜进行观察和评价。这3种显微镜各自持有优异的性能，所以能够高效输出最佳结果。

OLS4500实现了无缝观察和测量

【发现】可以迅速发现观察对象

使用光学显微镜的多种观察方法， 迅速找到观察对象

OLS4500采用了白色LED光源， 可以观察到颜色逼真的高分辨率彩色影像。它装有4种物镜， 涵盖了低倍到高倍的大范围观察。OLS4500充分发挥了光学观察的特长， 除了最常使用的明视场观察（BF）以外， 还可以使用对微小的凹凸添加明暗对比， 达到视觉立体效果的微分干涉观察（DIC）， 以及用颜色表现样品偏光性的简易偏振光观察。此外， OLS4500上还配有HDR功能（高动态范围功能）， 该功能使用不同的曝光时间拍摄多张影像后进行合成， 来显示亮度平衡更好、强调了纹理的影像。在OLS4500上您可以使用多种观察方法迅速找到观察对象。

BF 明视场
最常使用的观察方法。在观察中真实再现样品的 
颜色。适用于观察有明暗对比的样品。

DIC 微分干涉
对于在明视场观察中看不到的样品的微小高低差， 
添加明暗对比使之变为立体可视。适用于观察金 
相组织、硬盘和晶圆抛光表面之类镜面上的伤痕 
或异物等。

简易偏振光
照射偏振光（有着特定振动方向的光线）， 使样 
品的偏光性变为肉眼可视。适用于观察金相组织、矿物、半导体材料等。

HDR 高动态范围
使用不同曝光时间拍摄多张影像并进行影像合成， 
可以观察平衡度较好的明亮部分和阴暗部分。此 
外，还可以强调纹理（表面状态），进行更精细的 
观察。

装配了激光扫描显微镜，灵活应对多种样品

轻松检测85°尖锐角

采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统（能最大限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4500 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。

LEXT 专用物镜

有尖锐角的样品（剃刀）

高度分辨率10 nm，轻松测量微小轮廓

由于采用405 nm的短波长激光和更高数值孔径的物镜， OLS4500达到了0.12 μm的平面分辨率。因此， 可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的光栅读取能力和奥林巴斯独有的亮度检测技术， OLS4500可以分辨出亚微米到数百微米范围内的高度差。此外， 激光显微镜测量还保证了测量仪器的两大指标——“正确性”（测量值与真正值的接近程度）和“重复性”（多次测量值的偏差程度）的性能。

从大范围拼接影像中指定目标区域

高倍率影像容易使视场范围变小，而通过设置，OLS4500的拼接功能最多可以拼接625幅影像，从而能够获得高分辨率的大范围视图数据。不仅如此，还可以在该大范围视图上进行3D显示或3D测量。

主机 规格